Подстрочный текст в HTML

Вы можете использовать следующее, чтобы добавить еще один элемент к элементу td:

var newElem = document.createElement("sub");
newElem.appendChild(document.createTextNode("foobar"));
oCell.appendChild(newElem);

Вы можете иметь в виду это:

oCell = document.createElement("TD");
oSub = document.createElement("sub");
oSub.innerHTML = data;
oCell.appendChild(oSub);
oRow.appendChild(oCell);

Просто продолжайте использовать innerHTML:

oCell.innerHTML = data+'<br /><sub>'+subText+'</sub>';

Или даже

oCell.innerHTML = data+'<br />'+subText.sub();

для какого-то JavaScript 1.0, ретро хорошо?

oCell.innerHTML = data;

Если 'data' может содержать символы '<' или '&', вы только что сделали грубую ошибку. Вместо этого используйте createTextNode для помещения простого текста в HTML:

oCell.appendChild(document.createTextNode(data));
oCell.appendChild(document.createElement('sub')).appendChild(document.createTextNode(subdata));